項 目 | 技術要(yao)求 |
結(jie)構(gou) | 立(li)式-前(qian)開(kai)門(men) |
鍍膜方式 | 直流、射頻、中頻磁控濺射 |
腔體數(shu) | 1個 |
腔體材料 | 304不鏽鋼，雙層水(shui)冷(leng) |
腔體尺(chi)寸 | Φ500 mm×H450mm |
工位(wei)數 | 1個工位 |
轉輸(shu)方式 | 磁流(liu)體傳動，數量2個 |
傳(chuan)輸速度(du) | 公轉結構，自轉(zhuan)結構，獨(du)立控製 |
參(can)數設定 | 溫(wen)度，時(shi)間(jian)，氣體分壓，速度，均(jun)可調(diao)整 |
機架材質 | 碳(tan)鋼噴塑 |
觀(guan)察(cha)窗(chuang)數 | 2個 |
磁控濺射電源 | 數量4個(ge) |
脈衝偏(pian)壓電源 | 數量1個 |
真空係(xi)統 | 分(fen)子泵+直聯泵+真空閥(fa)門+管道(dao) |
控製係統 | 人(ren)機界(jie)麵+PLC |
供電電源 | 3N，220V/380V，50Hz |
客服1