真空泵(beng)及(ji)有關術語(yu)
1.1、真空泵 vacuum pumps 產生、改善和（或）維持真空的裝置。基本上分為(wei)氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。

1.2、容積真空泵 positive displacement pump：容積真空泵是利用(yong)泵腔(qiang)容(rong)積的周(zhou)期(qi)變化來完(wan)成吸氣和排(pai)氣的裝置(zhi)。氣體在排出前(qian)被壓縮(suo)。這(zhe)種泵分(fen)為往(wang)複式及旋(xuan)轉式(shi)兩種。

1.3、氣鎮真空泵 gas ballast vacuum pump：泵工(gong)作中，經(jing)氣鎮(zhen)閥放(fang)入適(shi)量(liang)的非可(ke)凝(ning)性氣體到泵的壓(ya)縮室，以降低被(bei)抽(chou)氣體中(zhong)可凝性蒸汽在泵內(nei)凝結程(cheng)度的容積真空泵。4.1.1.6～4.1.1.10的容積(ji)真空泵均(jun)可裝氣鎮裝置。

1.4、油(you)封(feng)（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：利用油類(lei)密封各(ge)運(yun)動部(bu)件間的間隙(xi)和減(jian)少(shao)壓縮室(shi)有害(hai)空間的旋轉(zhuan)容積真空泵。

1.5、幹(gan)封真空泵 dry-sealed vacuum pump：不用油類（或液(ye)體）密(mi)封的容積真空泵。

1.6、往複真空泵 piston vacuum pump：利(li)用泵腔內活(huo)塞往複(fu)運動，將(jiang)氣體壓縮並排出(chu)的容積真空泵。

1.7、液環真空泵 liquid ring vacuum pump：帶有多葉(ye)片的轉子偏心裝(zhuang)在泵殼(ke)內，當(dang)它(ta)旋轉時，把(ba)液體（通常為水(shui)）拋(pao)向泵殼並(bing)形成與泵殼同(tong)心(xin)的液環，液環同轉子葉片形成了(le)容積周期變化的旋轉容積真空泵。

1.8、旋片(pian)真空泵 sliding vane rotary vacuum pump：轉子偏(pian)心的裝在泵殼內並同泵殼內表(biao)麵固(gu)定麵相切(qie)，在轉子內裝有二(er)個(ge)（或二個以上）旋片，當轉子(zi)旋轉時滑片能沿(yan)其徑向槽(cao)往複滑(hua)動(dong)且與泵殼內壁(bi)始終接(jie)觸(chu)，將泵腔分為幾(ji)個可變(bian)容積的旋轉容積真空泵。

1.9、定(ding)片真空泵 rotary piston vacuum pump：在泵殼內裝有一(yi)個與泵殼內壁相接觸的偏心轉子，泵殼上裝有一片始(shi)終與轉子表麵接觸的徑(jing)向(xiang)滑片，當轉子旋轉時滑片上、下滑動將泵腔分成兩(liang)個可變容積的旋轉容積真空泵。

1.10、滑閥真空泵 rotary plunger vacuum pump：在偏心轉子外(wai)有一滑閥環(huan)，轉子旋轉時帶動滑閥(fa)環沿泵殼內壁滑動和滾動，固定在滑閥環上的滑閥杆(gan)能在裝於泵殼適當位(wei)置可擺動的滑閥導(dao)軌(gui)中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積的旋轉容積真空泵。

1.11、餘擺線真空泵 trochoidal vacuum pump：在泵殼內，偏心裝有一個餘擺(bai)線型(xing)轉子，它沿泵殼內壁滑動並將泵腔分成兩個可變容積的容積真空泵。

1.12、多(duo)室旋片真空泵 multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：在一個泵殼中並聯裝有由(you)同一電動機驅(qu)動的多個獨(du)立(li)工作室的旋片真空泵。

1.13、羅(luo)茨(ci)真空泵 roots vacuum pump：泵內裝有兩個相反(fan)方(fang)向同步(bu)旋轉的雙(shuang)葉形(xing)或多葉形轉子，轉子間，轉子同泵殼內壁保(bao)持一定的間隙的旋轉容積真空泵。

 1.14、動量傳輸泵 kinetic vacuum pump：高速(su)旋轉的葉片或射流(liu)，把動量傳輸(shu)給氣體或氣體分子，使(shi)氣體連續不(bu)斷(duan)的從(cong)入口傳輸到(dao)出口的真空泵。

1.15、牽(qian)引(yin)分子泵molecular drag pump：氣體分子與高速轉動的轉子相(xiang)碰(peng)撞(zhuang)而獲(huo)得(de)動量，被送到出口(kou)的一種動量傳輸泵。

 1.16、渦(wo)輪(lun)分子泵turbo molecular pump：泵內裝有帶槽的圓(yuan)盤(pan)或帶(dai)葉片的轉子，它在定子對應的圓盤間旋轉。轉子圓周的線速度和氣體分子速度(du)是(shi)相同的量級(ji)的，泵通(tong)常在分子流條(tiao)件下(xia)工作。

 1.17、噴(pen)射真空泵ejector vacuum pump：利用文(wen)丘裏(li)（venturi）效(xiao)應(ying)的壓力降(jiang)產生的高速射流把氣體輸送(song)到出中的一種動量傳輸泵。噴射真空泵適於(yu)粘(zhan)滯流和過(guo)渡(du)流條件下工作。

1.18、液體噴射真空泵liquid jet vacuum pump：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。

 1.19、氣體噴射真空泵gas jet vacuum pump：以非(fei)可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。

 1.20、蒸汽噴射真空泵vapor jet vacuum pump ：以蒸(zheng)汽（水、油、汞等蒸汽(qi)）作(zuo)為工作介質的噴射真空泵。

1.21、擴散泵diffusion pump ：以(yi)低(di)壓高速蒸汽流（油或汞(gong)等蒸汽）作為工作介質(zhi)的氣體動量傳輸泵。氣體分子擴(kuo)散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終(zhong)是低的。這種泵適於分子流條件下工作。 1.22、自淨化擴散(san)泵self purifying diffusion pump：泵液中的易揮發雜(za)質經專(zhuan)門(men)的機構(gou)輸送到出口而(er)不回(hui)到鍋(guo)爐中的一種油擴散泵。

1.23、分餾擴散泵 fractionating diffusion pump ：這種泵具有分餾(liu)裝置，使蒸汽壓力(li)較(jiao)低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓力較高的工作液蒸汽進(jin)入低真空工作的噴嘴中的一種多級油擴散泵。

 1.24、擴散噴射泵diffusion ejector pump ：有擴散泵特性的單(dan)級或多級噴嘴(zui)和具(ju)有噴射泵特性的單級或多級噴嘴組(zu)成的動量傳達(da)室輸泵。

1.25、離子傳輸泵ion transfer pump：被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

1.26、捕集真空泵 entrapment vacuum pump：氣體分子被吸附或凝結(jie)在泵內表麵上的真空泵。

1.27、吸附泵adsorption pump：主(zhu)要(yao)用具有大(da)表麵的吸附(fu)劑（如(ru)多孔(kong)物(wu)質）的物理吸附作用來抽氣的捕集真空泵。

1.28、吸(xi)氣劑(ji)泵 getter pump：用吸氣劑以化學(xue)結合方式捕獲氣體的捕集(ji)真空泵。吸氣劑通常(chang)是以塊(kuai)狀或沉(chen)積新鮮(xian)薄(bao)膜形式存(cun)在的金(jin)屬或合金。

1.29、升(sheng)華(hua)（蒸發）泵 sublimation (evaporation)pump ：一種用間斷或連(lian)續方式升華（蒸發）吸氣材料以達到抽氣目(mu)的的捕(bu)集真空泵。

1.30、吸氣劑離子泵getter ion pump：被電離的氣體通過電磁場或電場(chang)的作用吸附在有吸氣材料的泵內表麵上的捕集真空泵。

1.31、蒸發離子泵 evaporation ion pump ：泵內被電離氣體傳輸到以間斷或連續(xu)方式升華或蒸發而覆(fu)在泵內壁的吸氣材料上而被吸附的一種吸氣離子泵。

1.32、濺(jian)射離子泵sputter ion pump ：泵內電離的氣體，被吸附在由陰(yin)極(ji)連續濺散出來的吸氣材料上的吸氣劑離子泵。

1.33、低溫泵cryopump：利用低溫(wen)表麵捕集氣體的真空泵。